洛陽氬氣在等離子清洗機(jī)中的作用有哪些
我們了解過氬氣因?yàn)槠湫再|(zhì)不活潑,被廣泛應(yīng)用于照明技術(shù),窗戶玻璃隔熱等領(lǐng)域,其實(shí)氬氣還有一個非常重要的應(yīng)用,那就是被應(yīng)用在等離子清洗機(jī)中,那么,洛陽氬氣在等離子清洗機(jī)中的作用有哪些?下面是小編為大家做出的總結(jié),我們一起來看一下。
1、表面清潔
在晶圓、玻璃等產(chǎn)品表面顆粒的清除過程中,通常會采用等離子體對材料表面的顆粒進(jìn)行轟擊,加以實(shí)現(xiàn)對顆粒的分散和松動處理,然后再進(jìn)行離心清洗等處理工藝,會有著顯著的效果。在半導(dǎo)體封裝應(yīng)用中尤為突出,在經(jīng)過打線工藝后為防止導(dǎo)線氧化,需采用洛陽氬氣中氬等離子體或氬氫等離子對產(chǎn)品表面進(jìn)行等離子清洗,實(shí)現(xiàn)更好的產(chǎn)品處理效果。
2、表面粗化
等離子清洗機(jī)的表面粗化處理也稱為表面刻蝕處理,其主要目的是提升材料的表面粗糙度,進(jìn)而增強(qiáng)材料的粘接、印刷和焊接等性能。其他活性氣體經(jīng)處理后也可提升產(chǎn)品表面張力,但氬離子化產(chǎn)生的顆粒要更重,在電場的作用下氬離子的動能較高于其他活性氣體,所以其粗化效果更號。洛陽氬氣在無機(jī)物表面粗化的過程中應(yīng)用比較廣泛,如玻璃基材的表面處理、金屬基材的表面處理等。
3、活性輔助
在等離子清洗機(jī)的活化和清洗工藝中,工藝氣體經(jīng)常被混合使用,以達(dá)到更佳的效果。因?yàn)闅鍤獾姆肿颖容^大,電離后產(chǎn)生的粒子比較后,在進(jìn)行表面清洗和活化時通常會配合活性氣體混合使用,較常見的就是氬氣和氧氣的混合。氧氣為高活性氣體,可有效地對有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面進(jìn)行化學(xué)分解,但其粒子相對較小,斷鍵和轟擊能力有限,如加上一定比例的洛陽氬氣,那么所產(chǎn)生的等離子體對有機(jī)污染物或有機(jī)基材表面的斷鍵和分解能力就會更強(qiáng),加快清洗和活化的效率。
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